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準(zhǔn)分子以激發(fā)態(tài)形式存在，準(zhǔn)分子預(yù)混氣出售，壽命很短，僅有10^(-8)S量級，基態(tài)為10^(-13)S量級，準(zhǔn)分子預(yù)混氣報價，躍遷發(fā)生在低激發(fā)態(tài)和排斥的基態(tài)（或弱束縛）之間，其熒為一連續(xù)帶。由于其熒光譜為一連續(xù)帶，故可以實現(xiàn)波長可調(diào)諧運轉(zhuǎn)。由于激光躍遷的下能級（基態(tài)）的離子迅速離解，激光下能級基本為空的，極易實現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)，因此量子效率很高，接近100%，且可以高重復(fù)頻率運轉(zhuǎn)。

準(zhǔn)分子激光器適用于曝光方面的應(yīng)用，如光掩膜版的制作、檢查和量測。重復(fù)率為1KHz時，激光器能穩(wěn)定發(fā)射輸出能量為16mJ的248nm激光（KrF型號）和6mJ的193nm激光（ArF型號）。它包括一個激光頭（激光頭安裝在一個適于潔凈室環(huán)境下使用的不銹鋼盒子里）和一套安裝在工業(yè)PC板單獨的電源系統(tǒng)。激光器由嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)組件構(gòu)成，可單側(cè)打開進(jìn)行激光頭維修，因此很容易與大多數(shù)工作站進(jìn)行組合使用。

“準(zhǔn)分子激光器”這個術(shù)語，并不是表示單一的器件，而是表征一組具有相似輸出特性的器件。這些激光器都能在幾貼或幾十。時間內(nèi)發(fā)射紫外或近紫外波長范圍的強激光脈沖。商業(yè)準(zhǔn)分子激光器通常能以不同混合氣體運轉(zhuǎn)，能產(chǎn)生多種不同波長的輸出。這是一種相當(dāng)先進(jìn)的技術(shù)，準(zhǔn)分子預(yù)混氣供應(yīng)商，而且，商業(yè)準(zhǔn)分子激光器件還在不斷發(fā)展中。 雖然，準(zhǔn)分子激光器在商品市場上是一種1新式的器件，但是它們在研究實驗室里已獲得了普遍的承認(rèn)，武漢準(zhǔn)分子預(yù)混氣，并且引起潛在工業(yè)用戶的極大興趣，從實驗室的演示迅速過渡到商業(yè)生產(chǎn)，部分原因是如下的巧合:即同一激勵方法既可用于準(zhǔn)分子激光器，也可用于TEA CO，激光器。

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